发明名称 METHOD OF TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03244142(A) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 JP19900042108 申请日期 1990.02.22
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MIZUNO SHINICHIRO;FUKUDA RYOHEI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址