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发明名称 LOW-PRESSURE VAPOR PHASE DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03241824(A) 申请公布日期 1991.10.29
申请号 JP19900038856 申请日期 1990.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIENO FUMITAKE
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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