发明名称 |
DIAMOND FILM FORMING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03240963(A) |
申请公布日期 |
1991.10.28 |
申请号 |
JP19900033679 |
申请日期 |
1990.02.16 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TAKAHAMA TORU;OMINE MEGUMI;GOTO YOSHIYUKI |
分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;H04R7/02;H04R31/00 |
主分类号 |
C23C16/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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