发明名称 DIAMOND FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03240963(A) 申请公布日期 1991.10.28
申请号 JP19900033679 申请日期 1990.02.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAHAMA TORU;OMINE MEGUMI;GOTO YOSHIYUKI
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;H04R7/02;H04R31/00 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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