发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03241768(A) 申请公布日期 1991.10.28
申请号 JP19900037271 申请日期 1990.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IWASAKI NOBUHITO;YAMAUCHI TOSHIJI
分类号 H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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