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发明名称
DEVICE AND METHOD FOR CHARGING SPECIMEN
摘要
申请公布号
JPH03240219(A)
申请公布日期
1991.10.25
申请号
JP19900037799
申请日期
1990.02.19
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
SHIMAZU NOBUO;MORITA HIROBUMI
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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