发明名称 DEVICE AND METHOD FOR CHARGING SPECIMEN
摘要
申请公布号 JPH03240219(A) 申请公布日期 1991.10.25
申请号 JP19900037799 申请日期 1990.02.19
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 SHIMAZU NOBUO;MORITA HIROBUMI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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