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发明名称 TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH03237297(A) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 JP19900030512 申请日期 1990.02.09
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KAWASUE SHIGEO
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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