发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03237377(A) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 JP19900034432 申请日期 1990.02.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KODAMA YUKIO
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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