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发明名称 MEMORY DEVICE USING THIN FILM TRANSISTORS HAVING AN INSULATION FILM WITH SI/N COMPOSITION RATIO OF 0.85 TO 1.1
摘要
申请公布号 US5060034(A) 申请公布日期 1991.10.22
申请号 US19890427252 申请日期 1989.10.25
申请人 CASIO COMPUTER CO., LTD. 发明人 SHIMIZU, HIDEAKI;YAMAMURA, NOBUYUKI;YAMADA, HIROYASU;WAKAI, HARUO;MATSUMOTO, HIROSHI
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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