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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03236483(A) 申请公布日期 1991.10.22
申请号 JP19900031480 申请日期 1990.02.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIROSAKI TOMOHIDE
分类号 C23F1/08;C23F4/00 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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