发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS HAVING AN EJECTING HEAD FOR EJECTING A LAMINATED REACTION GAS FLOW
摘要
申请公布号 KR910008793(B1) 申请公布日期 1991.10.21
申请号 KR19870015251 申请日期 1987.12.29
申请人 FUJITSU CO. LTD. 发明人 MIENO FUMITAKE
分类号 C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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