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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH03232797(A)
申请公布日期
1991.10.16
申请号
JP19900029149
申请日期
1990.02.07
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
IMAI YUKARI;KUSAKABE KENJI
分类号
C30B29/06;C30B29/40;C30B29/48;H01L21/208
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
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