| 发明名称 |
DEVICE FOR VAPOR FORMATION OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03232971(A) |
申请公布日期 |
1991.10.16 |
| 申请号 |
JP19900028548 |
申请日期 |
1990.02.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YANAGISAWA HIROSHI;MATSUBARA HIROKAZU |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/34;C23C16/54;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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