发明名称 SILICON BODY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0419767(A3) 申请公布日期 1991.10.16
申请号 EP19900111215 申请日期 1990.06.13
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 STEIN, KARL-ULRICH, DR.
分类号 G02B6/42;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302;G02B6/26 主分类号 G02B6/42
代理机构 代理人
主权项
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