发明名称 |
SILICON BODY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0419767(A3) |
申请公布日期 |
1991.10.16 |
申请号 |
EP19900111215 |
申请日期 |
1990.06.13 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
STEIN, KARL-ULRICH, DR. |
分类号 |
G02B6/42;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302;G02B6/26 |
主分类号 |
G02B6/42 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|