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发明名称
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申请公布号 JPH0366094(B2) 申请公布日期 1991.10.16
申请号 JP19850197238 申请日期 1985.09.06
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO 发明人 IZAWA MASAO;KATO HIROHISA;KINOSHITA TOMOYUKI
分类号 H01L21/68;B23P19/00;B65G47/90;H01L21/50;H01L21/67;H05K3/30;H05K13/00;H05K13/02;H05K13/04 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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