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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03231456(A) 申请公布日期 1991.10.15
申请号 JP19900027535 申请日期 1990.02.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHIMAZAKI TAKAAKI
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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