发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03230531(A) 申请公布日期 1991.10.14
申请号 JP19900026511 申请日期 1990.02.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KANAZAWA MASATO
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址
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