| 发明名称 |
THERMAL TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03229414(A) |
申请公布日期 |
1991.10.11 |
| 申请号 |
JP19900025672 |
申请日期 |
1990.02.05 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD |
发明人 |
KAKIZAKI JUNICHI |
| 分类号 |
H01L21/22;B01D5/00;C23C16/44;C23C16/455;F27B17/00;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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