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发明名称 CHARACTERISTIC INSPECTION HANDLER FOR TAPED COMPONENTS
摘要
申请公布号 JPH03227549(A) 申请公布日期 1991.10.08
申请号 JP19900023374 申请日期 1990.02.01
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 YOSHIHARA KENZO;YAMADA YOSHIAKI;FURUE TETSUO;KURODA OSAMU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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