| 发明名称 |
LIQUID ETCHANT COMPOSITION AND ETCHING METHOD USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03226587(A) |
申请公布日期 |
1991.10.07 |
| 申请号 |
JP19900019024 |
申请日期 |
1990.01.31 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WATABE TAKAYOSHI;INOUE TAKASHI;OKA HITOSHI;IMABAYASHI SHINICHIRO |
| 分类号 |
C23F1/30;H01L21/306;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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