| 发明名称 |
METHOD OF PATTERNING RESIST |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU615430(B2) |
申请公布日期 |
1991.10.03 |
| 申请号 |
AU19880012461 |
申请日期 |
1988.01.19 |
| 申请人 |
THE FOXBORO COMPANY |
发明人 |
HAROLD LAKE;PAUL E. GRANDMONT |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/095;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/10;H05K3/28;(IPC1-7):G03C11/12;G03C1/46;G03C1/68;G03C1/90;G03F5/24;G03F5/02;G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
