| 发明名称 |
ELECTRON-EMITTING DEVICE, AND ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY MACHINE AND IMAGE DISPLAY APPARATUS MAKING USE OF IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0394698(A3) |
申请公布日期 |
1991.10.02 |
| 申请号 |
EP19900106038 |
申请日期 |
1990.03.29 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MORIKAWA, YUKO;YANAGISAWA, YOSHIHIRO;TAKIMOTO, KIYOSHI |
| 分类号 |
H01J1/312;H01J9/02;H01J29/04;H01J29/48;H01J31/12;H01J37/073;(IPC1-7):H01J1/30;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J1/312 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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