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发明名称 SPUTTERING DEVICE FOR PRODUCING THIN FILM OF OXIDE SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03223458(A) 申请公布日期 1991.10.02
申请号 JP19900016704 申请日期 1990.01.26
申请人 ANELVA CORP 发明人 HIRATA KAZUO
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C23C14/34 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
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