申请人 |
LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE |
发明人 |
HENSEL, BERND, DIPL.-ING., 6230 FRANKFURT, DE;KOPACZ, UWE, DR.-PHYS., 6452 HAINBURG, DE;HOFMANN, DIETER, DIPL.-ING., 6454 BRUCHKOEBEL, DE;SCHUESSLER, HANS, DIPL.-ING., 6685 SCHIFFWEILER, DE;ECKHARDT, GUNTER, DIPL.-ING., 6450 HANAU, DE |