发明名称 VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN DURCH KATODENZERSTAEUBUNG
摘要
申请公布号 DE4009151(A1) 申请公布日期 1991.09.26
申请号 DE19904009151 申请日期 1990.03.22
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 HENSEL, BERND, DIPL.-ING., 6230 FRANKFURT, DE;KOPACZ, UWE, DR.-PHYS., 6452 HAINBURG, DE;HOFMANN, DIETER, DIPL.-ING., 6454 BRUCHKOEBEL, DE;SCHUESSLER, HANS, DIPL.-ING., 6685 SCHIFFWEILER, DE;ECKHARDT, GUNTER, DIPL.-ING., 6450 HANAU, DE
分类号 C23C14/35;C23C14/50;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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