发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03218025(A) |
申请公布日期 |
1991.09.25 |
申请号 |
JP19900014361 |
申请日期 |
1990.01.23 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MIYAKE MASAYASU;IMAI KAZUO |
分类号 |
H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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