发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03218025(A) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 JP19900014361 申请日期 1990.01.23
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MIYAKE MASAYASU;IMAI KAZUO
分类号 H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址