Microwave plasmatron.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Mikrowellen-Plasmatron zum Erzeugen eines Mikrowellen Plasmas. Mikrowellen-Plasmatron findet beim chemisch reaktiven Ätzen von Substratoberflächen für die Mikroelektronik und Mikromechanik, beim plasmaaktivierten Beschichten und als Plasmaerzeuger in Ionenquellen Anwendung. Die erfindungsgemäße Lösung besteht darin, daß auf einem ebenen Oberflächenwellenleiter ein oder mehrere hohlzylinderförmige Magnete angeordnet sind, die von einem U-förmig ausgebildeten Mantel aus ferromagnetischem Material in der Art umsch lossen sind, daß die offene Seite am Oberflächenwellenleiter anliegt. <IMAGE>