发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTOR OXIDE FILM
摘要
申请公布号 KR910007384(B1) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 KR19880011900 申请日期 1988.09.15
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO.,LTD. 发明人 YAMAJAGGI SYUNPEI
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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