发明名称 AUTOMATIC DEFECT DETECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0179309(B1) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 EP19850112342 申请日期 1985.09.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BRONTE, JOSEPH JAMES;HEBERT, ROLAND CHARLES;KHOURY, HENRI ANTOINE
分类号 G01N21/88;G01B11/30;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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