发明名称 |
RESIN FEEDING STRUCTURE OF COATING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03217031(A) |
申请公布日期 |
1991.09.24 |
申请号 |
JP19900013113 |
申请日期 |
1990.01.22 |
申请人 |
TOKAI RIKA CO LTD |
发明人 |
TANABE KATSUMI;TANASE TOSHIO;SHIMURA HARUO |
分类号 |
H05K3/28;B05C13/00;H01L21/56 |
主分类号 |
H05K3/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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