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发明名称 MOLECULAR RAY EPITAXIAL METHOD AND MOLECULAR EPITAXIAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03215388(A) 申请公布日期 1991.09.20
申请号 JP19900008268 申请日期 1990.01.19
申请人 HITACHI LTD;BABCOCK HITACHI KK 发明人 OBE ISAO;BUSSHU TERUO;TEZENI YUUTA
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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