Temperature sensor.

摘要

Ein Temperatursensor (40) verfügt über auf einem elektrisch isolierenden und eine geringe Strahlungsabsorption aufweisenden Substrat (32) dünnschichttechnisch in Mäanderform aufgebrachte elektrisch leitende Leiterbahnen (21) in einem Meßfenster (20) auf, deren Endpunkte (16,17) an eine Meßwerkschaltung angeschlossen sind. Die Gesamtoberfläche der Leiterbahnen (21) in der Projektion auf die Ebene des Substrates (32) steht zu der Oberfläche des Meßfensters (20) in einem Bedeckungsverhältnis von kleiner als 20 Prozent, so daß die Leiterbahnen (21) aufgenommene Strahlung ohne Interferenz mit anderen Leiterbahnen (219 abgeben können. Entweder steht die Summe der Oberflächen des Meßfensters (20) und des das Meßfenster (20) umgebenden Substrates (32) zu der das Substrat im Meßfensterbereich (22) umrandenden Randoberfläche (23) in einem Flächenverhältnis von größer als 4 zu 1 oder das Substrat (32) ist unter den Leiterbahnen (21) im Meßfenster (20) im wesentlichen weggeätzt (36). Dann ist die Querschnittsfläche der auf dem Substrat (32) aufliegenden Umkehrschleifen (34) der Leiterbahnen (21) größer als die Querschnittsfläche der Leiterbahnen (21), so daß ein Widerstandseinfluß infolge der Temperatur des Substrats (32) auf die Leiterbahnen (21) wirkungsvoll verhindert wird. Mit diesem Temperatursensor (40) sind Temperaturmessungen im Bereich zwischen -70° und +50° Celsius bei Normaldruck bis zu einem Druck von wenigen Millibar und direkter Sonneneinstrahlung mit einem Strahlungsfehler von unter 0,2° Celsius möglich. <IMAGE>