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经营范围
发明名称
Radiation gauge
摘要
申请公布号
US5050196(A)
申请公布日期
1991.09.17
申请号
US19900532114
申请日期
1990.06.01
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
KADOSAWA, TSUNEAKI;KORENAGA, NOBUSHIGE
分类号
G01T7/00;A61B6/00;G01T1/00;G01T1/16;G01T1/17;G01T1/20;G01T1/29;G03F7/20;G21K1/04;G21K5/02;H01L21/027;H01L21/30;H05G1/26
主分类号
G01T7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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