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发明名称 PROBE MEASURING HEAD
摘要
申请公布号 SU930435(A1) 申请公布日期 1982.05.23
申请号 SU19803215895 申请日期 1980.09.17
申请人 YURCHENKO VASILIJ,SU;EMELYANOVICH PETR F,SU;SHUSHKEVICH VIKTOR L,SU 发明人 YURCHENKO VASILIJ I,SU;EMELYANOVICH PETR F,SU;SHUSHKEVICH VIKTOR L,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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