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发明名称 METHOD OF CHANGING TRANSFER DIRECTION OF IC ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH03208357(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900004096 申请日期 1990.01.10
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 MIYAUCHI AKIHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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