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发明名称 Method and apparatus for writing or etching narrow linewidth patterns on insulating materials
摘要
申请公布号 US5047649(A) 申请公布日期 1991.09.10
申请号 US19900594269 申请日期 1990.10.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HODGSON, RODNEY T.;STANLAND, JACKSON E.;WELLS, OLIVER C.
分类号 H01L21/027;B41M5/20;G01Q30/20;G01Q80/00;G03F7/00;G11B9/00;H01J37/317;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/30;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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