发明名称 Atomic probe type microscope apparatus
摘要
申请公布号 US5047637(A) 申请公布日期 1991.09.10
申请号 US19900525076 申请日期 1990.05.17
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. 发明人 TODA, AKITOSHI
分类号 G01B7/34;B01L7/00;G01N37/00;G01Q30/10;G01Q30/18;G01Q60/10;G12B5/00;G12B7/00;H01J37/252;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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