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发明名称
HEAT TREATMENT OF GALLIUM ARSENIDE COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPH03205400(A)
申请公布日期
1991.09.06
申请号
JP19890344546
申请日期
1989.12.28
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUMURA TAKAO
分类号
C30B29/42;C30B33/02;H01L21/26;H01L21/324
主分类号
C30B29/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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