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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03203235(A) 申请公布日期 1991.09.04
申请号 JP19890344614 申请日期 1989.12.28
申请人 SHARP CORP 发明人 KONDO MASAHARU
分类号 H01L21/306;H01L21/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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