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发明名称
PERIMETER WAFER SEAL
摘要
申请公布号
EP0398589(A3)
申请公布日期
1991.09.04
申请号
EP19900305052
申请日期
1990.05.10
申请人
GENUS, INC.
发明人
STUDLEY, DAVID K.;KELLER, ERNST
分类号
C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
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