发明名称 |
MICROMAGNETOMETRE A DETECTION CAPACITIVE |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2645970(B1) |
申请公布日期 |
1991.08.30 |
申请号 |
FR19890005281 |
申请日期 |
1989.04.14 |
申请人 |
CROUZET SA |
发明人 |
ERIC DONZIER;ISABELLE THOMAS;SERGE SPIRKOVITCH;FRANCOIS BAILLIEU |
分类号 |
G01R15/20;G01R33/028;(IPC1-7):G01R33/028;G01R27/26;H01L41/12;H01L41/22 |
主分类号 |
G01R15/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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