微电化泵及其制造方法

摘要

一种用于医疗和分析领域的微电化泵具有一夹在表面板和玻璃基片之间的薄膜板。该中间模板具有一吸入阀和一输出阀而玻璃基片有一入口和一出口分别连接到相应阀。在借助蚀刻技术形成于薄膜板上的两阀之间，存在一振动膜片，在该振动膜片上有一检测振动膜片任何状态的压电元件。另一微电化泵具有上薄膜板构件和下薄膜板构件。上构件具有吸入阀，下构件具有输出阀。在上和下薄膜板构件之间插入一中间玻璃基片。

主权项

1、一种微电化泵，它包括： 一个基片， 一个接合于所述基片的薄膜板，并有打开和关闭形成在基片上的入口和出口的一个吸入阀和一个输出阀，一个形成泵腔的振动膜片，以及一个液体流动的流通管路系统， 一个接合于所述薄膜板顶部表面的表面板，以及 一个驱动所述振动膜片的驱动装置， 其特征在于： 所述输出阀由覆盖所述出口输入端的帽形阀体制成。