发明名称 SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03193691(A) 申请公布日期 1991.08.23
申请号 JP19890330003 申请日期 1989.12.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKENAKA CHISATO
分类号 C30B13/14;H01L21/208 主分类号 C30B13/14
代理机构 代理人
主权项
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