发明名称 WAVE FRONT SENSOR
摘要 Un capteur de fronts d'ondes comprend un système optique (1) focalisateur, un diaphragme perforé (2) avec une pluralité d'orifices (21) situés en même temps dans la trajectoire (3) des faisceaux et agencés de manière codée, notamment selon un code cyclique de Hadamard. Un mécanisme (22) d'avancement du diaphragme perforé (2) fait avancer celui-ci de sorte qu'une pluralité de différents agencements codés d'orifices (21) se trouvent dans la trajectoire (3) des faisceaux, toute la section transversale de la trajectoire (3) des faisceaux étant balayée plusieurs fois avec différents agencements codés d'orifices (21). Un photodétecteur (41) à résolution locale, notamment un détecteur latéral à résolution locale dans le domaine nm, agencé à proximité du plan de focalisation (4) dy système optique, détermine la position et l'intensité du point lumineux (33) qui résulte de la superposition de la pluralité de faisceaux de rayons (32) générés par le passage des rayons à travers les orifices (21). Une unité de mémorisation et de calcul (5) reconvertit les valeurs de position et d'intensité déterminées par le photodétecteur (41) en phase et en amplitude du front d'onde, en utilisant le code d'agencement des orifices (21).
申请公布号 WO9112502(A1) 申请公布日期 1991.08.22
申请号 WO1991EP00194 申请日期 1991.02.02
申请人 HUISER-SIMONIN, CHRISTIANE +HF;LEICA HEERBRUGG AG 发明人 BRAUNECKER, BERNHARD;GAECHTER, BERNHARD;HUISER, ANDRE +DI
分类号 G01J9/00;G01M11/00;G01M11/02 主分类号 G01J9/00
代理机构 代理人
主权项
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