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发明名称 PATTERN CHECKING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0117559(B1) 申请公布日期 1991.08.21
申请号 EP19840102032 申请日期 1984.02.27
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 OKAMOTO, KEIICHI;NAKAHATA, KOZO;MATSUYAMA, YUKIO;DOI, HIDEAKI;AIUCHI, SUSUMU;NOMOTO, MINEO
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;G06T7/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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