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发明名称 MICROWAVE PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03191072(A) 申请公布日期 1991.08.21
申请号 JP19890329436 申请日期 1989.12.21
申请人 CANON INC 发明人 SATO YASUE
分类号 C23C14/34;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/027;H01L21/203;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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