发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03191562(A) 申请公布日期 1991.08.21
申请号 JP19890332032 申请日期 1989.12.20
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAMORI AKIYOSHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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