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发明名称
FORMATION OF REFRACTORY METAL FILM
摘要
申请公布号
JPH03191064(A)
申请公布日期
1991.08.21
申请号
JP19890332034
申请日期
1989.12.20
申请人
NEC CORP
发明人
TSUNENARI KINJI
分类号
C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285
主分类号
C23C16/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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