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经营范围
发明名称
WAFER PROBER
摘要
申请公布号
JPH03190147(A)
申请公布日期
1991.08.20
申请号
JP19890329928
申请日期
1989.12.19
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MATSUSAKO TAKAO
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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