| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03187214(A) |
申请公布日期 |
1991.08.15 |
| 申请号 |
JP19890325962 |
申请日期 |
1989.12.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAMURA NOBUO;OSHIMA TAKU;NAKAGAWA KIYOKAZU;MIYAO MASANOBU;MURAKAMI HIDEKAZU;ETO HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/20;C23C14/04;H01L21/203;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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