发明名称 CRYSTAL BASE MATERIAL AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03187999(A) 申请公布日期 1991.08.15
申请号 JP19890323942 申请日期 1989.12.15
申请人 CANON INC 发明人 SATO NOBUHIKO
分类号 C30B29/64;H01L21/205 主分类号 C30B29/64
代理机构 代理人
主权项
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