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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON KUBISCHEM ALUMINIUMNITRID
摘要
申请公布号 DD292903(A5) 申请公布日期 1991.08.14
申请号 DD19900338845 申请日期 1990.03.19
申请人 ADW DER DDR,DE 发明人 VOLLSTAEDT,HEINER,DE;RECHT,HEIDRUN,DE
分类号 B22F3/00;C01B21/072;C04B35/58;H01L21/318;(IPC1-7):C04B35/58 主分类号 B22F3/00
代理机构 代理人
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